二手 WYKO / VEECO NT 3300 #9394877 待售
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WYKO/VEECO NT 3300是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體制造。它采用納米分辨率掃描顯微鏡，能夠捕獲分辨率低至1納米的圖像，從而能夠以高精度進行測量。該系統還包括一個自動化的多角度曲面輪廓測量單元,它使用戶能夠捕獲任何給定曲面的3維映射。除了顯微鏡功能外，WYKO NT 3300還設有一套自動化晶圓測試系統。這包括用於關鍵尺寸測量、拓撲分析、汙染檢測、叠加測量和傾斜/旋轉測量的系統。自動晶圓測試系統可以同時測量多個晶圓，大大減少了完成過程控制測量所需的時間。VEECO NT 3300還包括一個傾斜/旋轉階段，允許用戶旋轉或傾斜樣品，以便更好地查看表面。這一特征對於對三維樣品如MEMS或RF/微波元件進行測量特別有用。NT 3300有一個集成的圖像分析軟件包，自動化了分析機器顯微鏡捕捉到的圖像的任務。這一圖像分析軟件可用於檢測晶圓表面的缺陷，允許用戶快速識別任何問題區域。WYKO/VEECO NT 3300被設計成一個強大而高效的過程控制測量工具。它的納米分辨率顯微鏡提供了詳細的圖像和測量，而它的一套自動化晶片測試系統允許多個晶片在一次操作中進行測試。集成圖像分析軟件也是識別晶片缺陷的有用工具。傾斜/旋轉階段通過允許用戶獲得復雜樣本的改進視圖,進一步增強了工具的功能。
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