二手 WYKO / VEECO NT 8000 #293824503 待售

WYKO/VEECO NT 8000是一種晶圓測試和計量系統，提供半導體晶圓的非接觸式、無損分析。它旨在實現數據采集和分析過程的自動化，以最大限度地提高晶圓測量的精度。WYKO NT 8000使用安裝在三軸空氣軸承定位系統上的WYKO光頭來獲取晶圓的地形和光學數據。VEECO光頭利用激光掃描幹涉儀，利用光學幹涉測量表面地形。這種幹涉儀用高度聚焦的激光束掃描整個晶圓表面，創建一系列橫截面圖像。然後分析圖像以確定晶片上每個特征的地形。此信息用於計算曲面粗糙度、步長、臨界尺寸和其他臨界工藝參數。NT 8000利用先進的光學和三維數據采集及其「三重光束」技術同時測量晶片的正面和背面。它還結合了環境掃描電子顯微鏡（ESEM）的能力，可以分析晶圓上非常小的特征。VEECO NT8000提供了廣泛的數據分析工具來處理所獲取的數據。Advanced Image Analysis Suite （AIA）是一種圖像處理工具,用於從圖像中提取測量結果,並用於獲取數據的光譜分析。此外，Spectral Resolution （SR）軟件使用戶能夠量化所獲取數據的光譜含量。WYKO NT8000提供先進的計量技術，如散射光、角散射法和3D光刻地形測量能力。它還包含一個專門的功能測量模塊,它提供高級功能擬合功能,可用於測量晶圓上的復雜3D形狀或地形。WYKO/VEECO NT8000設計用於各種工業環境，如標準化（空氣或潔凈室）和非標準，包括超高真空（UHV）。是半導體行業質量控制和工藝優化操作的理想工具。