二手 WYKO / VEECO NT 9100 M #9208129 待售

WYKO/VEECO NT 9100 M是一種精密晶片測試和計量設備，旨在為晶片和薄膜結構的非接觸面分析提供最大精度和準確性。該系統結合了包括自動光學顯微鏡（AOM）、掃描電子顯微鏡（SEM）和電容成像（CI）在內的多個系統，提供晶圓表面和薄膜結構的精確分析。WYKO NT 9100 M由三個主要部件組成；舞臺、照明裝置和探測器。舞臺能夠支撐尺寸不超過1000 x 1000 mm的物體。它可以以線性或旋轉的方式移動，以每秒0.02微米的速度驅動。這對於達到晶圓測試和計量所需的高精度和精確度是必要的。照明機由可見光源或紅外光源組成，為表面分析提供最佳對比度。最後，探測器能夠從照明晶片表面收集圖像數據，分辨率為0.7 µm，動態範圍為2個數量級，SNR大於80 dB。VEECO NT 9100 M可以分析平面和非平面晶圓表面。該工具能夠測量相對厚度、薄膜附著力、表面缺陷和拓撲結構。它還能識別晶片表面TiN沈積的發生，測量晶粒大小和深度。此外，資產可以測量表面反射率。所有這些數據都是使用共焦控制模型記錄的,該模型可用於分析捕獲的數據,從而為過程控制或建模提供重要的指標。NT 9100 M提供了許多用於精確晶圓測試和計量的功能。它可以通過專用的控制工作站遠程操作，不需要在物理上用於分析晶片和薄膜結構。共聚焦控制設備是安全且完全可定制的,允許進行多種配置以滿足各種應用程序的特定要求。最後,系統提供了一系列軟件工具和分析包,可用於生成報告和分析捕獲的數據。綜上所述，WYKO/VEECO NT 9100 M是一種精密晶片測試和計量裝置，設計用於晶片和薄膜結構的非接觸面分析。它利用AOM、SEM和CI的組合來提供晶圓表面的精確分析。該機器提供自動舞臺移動和定制、遠程操作以及一系列軟件工具和分析包等功能。所有這些特性使得WYKO NT 9100 M成為需要晶圓測試和計量精度和精確度的應用的理想選擇。