二手 WYKO / VEECO NT 9100 #293743490 待售

WYKO/VEECO NT 9100是一種高精度晶圓測試和計量設備，用於測量和表征半導體器件的電氣、光學和結構特性。它允許用戶快速測量日益復雜的納米電子設備，如FinFET和3D-NANDs。該系統的核心是一個新穎的單軸級，專為適應較小的晶圓尺寸和提供更好的精度與減少定位誤差而設計。該線性運動由壓電陶瓷執行器提供，在X軸和Y軸上均提供可靠的納米級運動，分辨率高達0.05納米。舞臺還融入了閉環、高性能的位置測量單元，允許用戶以高精度測量薄膜層和晶圓上圖案的厚度。該機器由功能強大的VxWorks多處理器工業級PC控制,提供與復雜測試應用程序相匹配的功能。它具有高度可配置性,支持TCP/IP、以太網和串行等一系列通信協議。WYKO NT 9100還包括一套精密的分析和計量軟件，為用戶提供精確繪制、檢查、分析和報告粒度、邊緣、地形、電傳導等參數的能力。這個功能強大的軟件能夠進行多種成像模式，包括差分幹涉對比度顯微鏡、暗場成像和相位對比度顯微鏡。VEECO NT 9100設計為模塊化,因此用戶可以在需要更改時輕松升級和重新配置該工具。它有三種基本配置、兩種光學配置和一種掃描配置,所有這些配置都支持一系列行業標準的基板,包括CMOS、SiGe、Cu和GaAs。為了提高安全性，該資產設計具有屢獲殊榮的安全功能，如門聯鎖和激光聯鎖。可選的激光互鎖保護可以輕松添加。NT 9100是一種功能廣泛、功能強大的晶圓測試和計量模型，非常適合分析復雜的納米電子器件。它為用戶提供準確、可重復的結果所需的準確性和可靠性。