二手 WYKO / VEECO NT 9300 #293602188 待售

WYKO / VEECO NT 9300
ID: 293602188
Optical profiler.
WYKO/VEECO NT 9300是一種先進的晶圓測試和計量設備,設計用於可靠性測試、關鍵過程監控、故障分析和過程調試。這個系統的集成光學顯微鏡相機加上軟件控制的電機為用戶提供了一個全面的表面活動陣列和數據分析工具。WYKO NT 9300單元的硬件包括用於成像的高性能光學器件、用於超精度晶圓檢查的激光幹涉儀、用於執行各種測量的旋轉級、用於捕獲圖像的數碼攝像機以及用於電動掃描和成像的高精度轉換器。這與高度自動化的軟件控制器相結合,使用戶能夠準確快速地測量一系列參數,如表面地形、粒徑、汙染物、表面粗糙度以及特征大小和密度。VEECO NT9300最大限度地保證了質量和過程控制,提高了吞吐量和可重復性,並降低了測量和采樣成本。這臺機器的精密軟件包括多種功能,如自動數據采集和特征大小、密度、均勻性和間距、表面粗糙度和單個薄膜厚度的計算。此外,內置模式比較模塊允許快速的過程驗證和評估。NT 9300工具設計用於容納2 ″到8 ″的晶圓尺寸,最大磁場尺寸為32mm x 32mm。該資產由於其先進的光學和處理元件,在速度、精度和吞吐量方面都超過了行業標準。該模型與SEMI-STD-1538-F和ASTM B265-14兼容,便於測量突出的參數,包括平板顯示器和MEMS IC生產。為確保最高精度和可靠性,VEECO NT 9300采用了最新的精密計量技術。它配備了創新的6軸壓電失速塔式電機,提供最精確穩定的殘余振動性能。此外,采用低熱靈敏度的高精度直線空氣軸承導軌進一步提高了精度和可重復性。總之,NT9300是一種先進的晶圓測試和計量設備,可提供精確的結果、增加的吞吐量以及降低的測量和采樣成本。利用最新的計量學技術,該系統可容納2 ″至8 ″的晶圓尺寸,最大磁場尺寸為32mm x 32mm,為用戶提供集成的光學顯微鏡相機、激光幹涉儀、旋轉級、數碼攝像機以及用於電動掃描和成像的高精度轉換器。此外,內置模式比較模塊允許快速的過程驗證和評估。
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