二手 WYKO / VEECO NT 9800 #9289675 待售
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WYKO/VEECO NT 9800晶圓測試和計量設備是一種高度通用和可靠的儀器,能夠為廣泛的計量應用提供解決方案。該系統適用於大面積半導體晶片的測試,對材料的物理和電氣特性進行了詳細的分析和表征。該單元由一個主加工站、一個帶有電動Z軸的晶片級、一個帶有光學投影機的掃描頭以及先進的計量軟件組成。晶片級旋轉最大直徑200毫米的基板,以提供晶片整體的均勻光學視圖。晶片的旋轉通過外部計算機控制,編碼器內置在舞臺上,提供晶片表面的精確、非接觸的數據點。WYKO NT 9800的主要功能之一是其光學投影工具,它可同時查看整個晶圓的多個站點。使用固定位置掃描頭,該設備最多可在12個站點測量28個點,以便在並行視圖中捕獲多個圖像。這樣就可以對晶圓地形進行高精度的快速分析。VEECO NT 9800隨附的高級計量軟件能夠生成一系列分析數據,如地形、臨界尺寸和殘余應力剖面。該軟件還附帶了專有的擬合算法,旨在簡化對復雜數據集的解釋。此外,集成軟件開發環境允許從頭開始構建自定義的集成成像分析軟件。最後,NT 9800具有極高的可靠性和可重復性,具有較高的數據采集速度和內置的環境控制。其集成的氮氣凈化室提供精確的溫度控制和隔振,這對於測量精細晶片具有可重現的效果是必不可少的。集成的用戶管理資產提供了所有測試數據的完全可追蹤性。總體而言,WYKO/VEECO NT 9800晶圓測試和計量模型是一種功能強大的儀器,可提供廣泛的計量應用。其先進的光學投影設備和計量軟件使其成為大面積半導體晶片快速、可重復、精確分析的理想之選。此外,其綜合用戶管理系統保證了可靠和可追溯的數據。
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