二手 WYKO / VEECO RST #160187 待售
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ID: 160187
Optical Profiler Interferometer Microscope
TMC 63-222-6501 High-Performance Lab Table
Components Included:
(1) Wyko RST Interferometer Microscope
(1) Wyko Optical Profiler Base w/ 6” x 10⅜” Stage
(1) 0.62X Field Lens
(1) 1.0X Field Lens
(1) 1.5X Field Lens
(1) Alignment Field Lens
(1) RX2.5 Objective Lenses
(1) RX10 Objective Lenses
(1) RX40 Objective Lenses
(1) External Light Source Unit
(1) 37-Pin Wyko Control Box Ribbon Cable
(1) 4’ Fiber Optic Light Source Tube
Included in Light Source Unit:
(1) 90nm-N.D.
(1) 672.2 79nm-B.P.
(1) 462.9nm 73.6nm-B.P
(1) 501.7nm 10.3nm-B.P
Light source: External Wyko Unit
Stage: ±6° tip/tilt, ±90° rotation, ±2 in x,y
Missing one 90° Elbow fitting for vibration dampening system.
WYKO/VEECO RST設備是一種晶圓測試和計量系統，設計用於檢查和表征半導體晶圓。它能夠以高精度和吞吐量提供晶圓膜、接口和其他層的非接觸計量。該單元采用先進的、高精度的光學散射計來測量試樣晶片不接觸的特性。光學散射儀利用反射光強度和角度分布測量的組合來表征納米級的薄膜和表面。此外，它還具有以納米分辨率測量特征的能力。WYKO RST機的設計是為了滿足對非常快的測量周期的需求。這使得該工具非常高效,能夠快速提供可靠的結果。這也意味著可以在避免延遲的同時對每個晶片進行更多的測量。除了高速，VEECO RST資產還提供高測量精度和可重復性，以提供可靠的性能。該模型包括提供快速數據分析、自動通過/失敗決策和報告的高級軟件工具。所有數據都是從光學散射計收集，然後進行處理和儲存，以便於訪問和理解。RST設備還提供了廣泛的樣品處理選項,以加快測試速度。機器人化階段以受控的方式移動樣品，快速而精確地將其置於正確的測量位置。自動化的裝卸也減少了手工工作，加快了整個過程。WYKO/VEECO RST系統提供靈活的性能,可以根據每個用戶的要求進行定制。全面的軟硬件定制使單位能夠提供可靠的測試和計量。由於周期時間快，數據分析性能高，該機非常適合三維計量、圖像分析、晶圓檢測、表面表征和缺陷檢測等應用。
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