二手 WYKO / VEECO RST+ #67577 待售

WYKO/VEECO RST+是一種用於半導體晶片表征的晶圓測試和計量設備。該系統是為測量晶片材料的光學和電性能而設計的，為進一步的分析和儀器制造提供了寶貴的數據。該單元由一個基於外顯子激光掃描技術的計量單元和一個利用多探針技術的測試單元組成。計量單位能夠測量各種參數，包括晶體取向、紋理、表面和邊緣質量、厚度均勻性、表面反射率和地形高度。這可以在掃描速率高達30毫米/秒的情況下完成,同時仍能以± 2.5 nm（兩西格瑪）的高精度獲得可重復的結果。它還能夠以3D成像，並以立體視圖呈現結果。該機器能夠檢查各種不同的材料類型，從矽到砷化氙。試驗裝置采用多探針技術進行電和光電試驗。這包括各種參數的電氣特性，包括柵極漏電電流、柵極電容、柵極漏電電容和漏電電流。這可以以± 0.5fA的精度執行。此外，還可以測量光電特性，如光學壽命和光子載波遷移率。在掃描速度高達30探針/秒的情況下,該工具能夠分析單個晶片的電氣和光學特性。WYKO RST+資產為晶圓材料的光學和電氣特性提供了準確和可重復的測量結果。計量和測試單元完全自動化，能夠快速測量，為進一步分析和制造提供了寶貴的數據。該模型能夠分析各種不同的材料類型，在光學和電氣參數上都具有很高的精度。