二手 WYKO / VEECO SP 3000 W #9241021 待售
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WYKO/VEECO SP 3000 W是晶圓測試和計量設備。本文設計用於圖案化和非圖案化晶片薄膜光學特性的精確檢測和定量分析。WYKO SP 3000 W由幾個組件組成,包括用於晶圓處理能力的WYKO 4英寸壓板和VEECO 4英寸壓板,用於測量薄膜光學特性的低光基準光度計,以及用於自動測量和分析的自動化軟件套件。WYKO/VEECO 4英寸壓板是一種機動化晶圓處理系統,提供可靠的從卡帶到WYKO 4英寸壓板的拾取和放置能力。該壓板可容納3.5英寸和4英寸的各種晶圓尺寸,並提供自動焊接、粘合劑分配和使用集成真空裝置對準。VEECO 4英寸壓板是一種重型晶圓處理機,提供精確的對準、移動、速度和壓力。它可以在盒式磁帶中處理多達二十個晶片,並提供晶片樣本映射和自動邊緣映射工具以及用於對齊和模式識別的光度量對準機制。低光臺式光度計用於測量晶片上的薄膜光學特性。這是一種精密機械儀器,使用激光器和光譜學來測量有圖案和無圖案表面的反射率、透射率和吸收率。它還可以測量表面粗糙度,並且能夠通過控制面板進行管理以實現自動化操作。VEECO SP 3000 W還提供自動化軟件套件,允許自動測量和分析。此套件包括一個圖形用戶界面(GUI),用於控制資產設置,包括模式和晶圓映射、校準以及數據分析。它還可用於將各種測量值編譯為單個報告,以便於查看和打印。SP 3000 W是一種先進的晶片測試和計量模型,它提供了對圖案化和非圖案化晶片的薄膜光學特性的可靠和準確的分析。它的機動化晶片處理能力、光學測量設備和自動化軟件套件使其成為尋找全面、直觀、易於使用的系統的研究人員和工程師的理想選擇。
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