二手 AKRION 9200 / 9200A #9105637 待售

AKRION 9200/ 9200A濕站是一種精密、高性能的濕處理設備，設計用於為生產就緒的半導體器件提供高性能的濕蝕刻和清潔解決方案。該系統采用最先進的技術和強大的過程控制軟件，實現了高精度的嚴格過程控制。該單元由幾個組件組成，包括一個濕加工室、一個基板支架和一個溶液處理單元。濕式加工室配有先進的數控熱流控制元件，保證蝕刻均勻性和清潔效果。此外,控制器還能夠存儲多達30種標準化配方,用戶可以使用這些配方對多個參數進行編程,包括解決方案溫度、周期時間、蝕刻時間、沖洗時間等。基材持有者負責在加工過程中將基材固定到位。它包含一個可移動的框架，因此用戶可以很容易地將多個基板插入到機器中。此外,控制器還包含多種運動控制功能,包括旋轉、向前/向後移動以及脈沖持續時間。9200/ 9200A濕站還配備了先進的自動化溶液處理裝置,用於精確的溶液輸送和幹燥。該單元使用一組泵將蝕刻和沖洗溶液輸送至基板支架，並使用一組超聲波噴嘴精確控制溶液流量。該單元的精密軟件可確保在將解決方案釋放到室內時對其進行準確的實時監控和分析。該工具還具有內置信號分析的基於激光的厚度測量資產,因此用戶可以在處理前精確測量薄膜厚度。此功能使用戶能夠優化蝕刻過程,以實現精確的目標厚度。最後，AKRION 9200/ 9200A濕站還設有綜合安全措施，以幫助確保安全運行。這些措施包括一個opto-safety功能,它可以防止手部在打開時進入腔室,以及溫度和壓力傳感器,如果用戶的這些值中有任何一個超出其設定參數,則向其發出警報。綜上所述,9200/ 9200A濕站是一種高性能、精密的濕處理模型,旨在為用戶提供用於生產就緒的半導體器件的一致蝕刻和清潔解決方案。該設備具有強大的熱流控制、先進的運動控制、自動化的解決方案處理單元、基於激光的厚度測量以及集成的安全功能,以實現高效、安全的操作。