二手 AKRION AWP #9141974 待售
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單擊可縮放
ID: 9141974
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Wet process system, 8"
Type : CP / H2O2
Install type : Stand-Alone
Process flow: L -> R
Cassette interface :
(2) Tec SEM integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Hauser
Module configuration :
Mod 1 (Process) : BSG
ƒChem : H2SO4/HF 16:1
ƒTemp : 60°C
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold)
ƒTemp : Ambient
ƒMaterial type : PVDF
Mod 3 (Clean) : Gripper clean (GC)
ƒMaterial type : PVDF
Mod 4 (Process) : PHOS
ƒChem : H3PO4
ƒTemp : 155°C
ƒER-OX : 40+/-8, PT-OX: 100
ƒER-SIN : 48+/-6, PT-SIN: 60
ƒU%-OX: 20, U%-SIN: 5
Material type : Quartz tank
Mod 4 (Rinse) : QDR (Hot)
ƒTemp : 50°C
ƒMaterial type : PVDF
Mod 5 (Rinse) : Final rinse (FR)
ƒMegasonic option
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 6 (Dryer) : DMG
ƒMarangoni IPA dry
ƒMaterial type : PVDF
Mod 6 (Aux) : Auxiliary place
Mod 7 (Buffer) : PP
Mod 8 (Transfer) : Transfer station
Mod 8 (In/Out station) : In/Out
ƒUI, CPU, Monitors
ƒFire extinguisher system (Control panel)
Chemicals:
H2SO4 (PFA material)
HF (PFA material)
H3PO4 (PFA material)
HCL (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Alkali : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
Alkali : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC(12kVA), 60A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (8kVA), 23A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
1997 vintage.
AKRION AWP是一個濕式工作站，設計用於在印刷前提供出色的清潔、調理和基材的制備。AWP使用霧化噴霧沖擊水設備，將水基清潔液輸送到基板上，包括卷狀基板和網狀基板。它旨在提供環保合規性和出色的打印質量和多功能性。AKRION AWP系統利用多級循環進行基板潤濕和清潔，具有可變壓力噴嘴和優化的流動特性，以實現一致和均勻的噴霧模式。這樣可以確保底物的所有區域都能很好地覆蓋清潔液，並最大限度地減少過度噴灑。噴嘴可調節以覆蓋廣泛的基板寬度和長度,並且可以同時處理基於網狀和卷狀的基板,包括具有浮雕、紋理和圖案特征的基板。AWP使用多種機械和化學工藝來確保底物清潔和調理的最佳效果。首先，使用脫離水和洗滌劑的加壓噴霧對基材進行預清洗。接著是動態脫離水沖洗。最後，基材用紫外線和化學混合物調制。此過程可確保後續打印過程的表面清潔且底漆良好。AKRION AWP包含許多環境特性,例如綜合廢水管理單元和Low- E®保溫材料。這確保了AWP能效高，對環境安全，並為低耗水和低化學品設計。此外,它還符合UL、CE和ROHS認證。AKRION AWP提供了許多高級功能,以確保最佳地執行整個預打印過程。其中包括一臺集成的傳感器機器,可確保準確的過程控制,一個連續的自我審核工具,以及一個自動停止模式,在未檢測到噴灑時暫停資產。總的來說,AWP是一個濕式工作站,它提供了一系列令人印象深刻的特性和功能,使其成為清潔、調理和準備打印基材的絕佳方法。它旨在提供卓越的性能和環境合規性,是任何預印應用程序的可靠且高效的選擇。
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