二手 AKRION AWP #9192021 待售

AKRION AWP濕式站是一種創新的濕式加工工具，設計用於將晶圓級加工集成到現有的光刻系統中。該站在高度自動化、緊湊和集成的平臺上提供先進的清潔、抵抗開發、蝕刻、剝離和沈積工藝能力。它是那些需要可靠和可重復的納米級處理的理想解決方案。AWP濕站可以定制以滿足特定的流程需求,並且可以定制以包含定制的組件以滿足定制流程需求。該站基於帶基體的概念，其中安裝了精確的工藝模塊，以實現模塊化和自主操作。它提供了廣泛的可配置組件，包括：化學浴控制器、紡紗工藝、噴塗系統、高通量模塊、光學檢查和數據采集。AKRION AWP wet station features a advanced automation platform with a pressive robot control process module manifulation system.此模塊旨在優化周期時間,並提供所有組件之間的無縫通信。它還具有高級軟件界面和流程監控功能,可提供直觀的用戶體驗。AWP濕式站是為最高精度和控制而設計的，具有納米級精度的卓越工藝性能。該工作站能夠使用多個晶片同時運行進程，從而實現快速周轉時間。此外，該站還包括晶片與晶片對準和樣品移動的自動化過程。AKRION AWP濕式工作站的設計旨在提高過程吞吐量、最大限度地減少可變性和自動化過程以實現高效制造。它也是長期可靠性和維護的理想選擇,可保護加工工具免受灰塵和損壞。此外，該站還提供了與潔凈室兼容的設計，具有優異的顆粒和汙染預防能力。AWP濕式站提供了一種高度自動化、經濟高效且可靠的濕式處理解決方案,可滿足大容量半導體制造需求。這是一個完整的交鑰匙系統，用戶希望把他們的晶圓處理到一個新的水平。