二手 AKRION GAMA #9047520 待售

AKRION GAMA濕式站是用於制造半導體和微電子產品的全自動、精密的濕式加工設備。可用於進行各種濕法加工操作，如蝕刻、電鍍、蝕刻/條帶清洗、化學機械拋光（CMP）和降解。GAMA由幾個子系統組成，包括一個工藝室、氣室、泵和分配系統。工藝室是濕式站的主要單元，用於在濕式過程操作過程中像溫度、壓力一樣控制工藝參數。氣室是一個具有低壓區域的腔室，以確保蝕刻/鈍化過程的穩定和一致的氣氛。氣室使用循環泵在腔室過程中移動和過濾氣體和液體混合物。泵機將液體化學物質吸入並循環用於該過程。分配工具使用可靠的管道網絡將液體化學物質從泵資產分配到工藝室。AKRION GAMA濕處理模型包含若幹功能,可實現精確的濕處理操作。它包含一個濕過程控制設備，具有多個預編程的處理功能，包括溫度和壓力控制、化學監測和蝕刻過程。配方庫允許輕松設置流程配方,以便以相同的結果重復相同的流程。系統還包含遠程診斷功能,以方便對流程問題進行故障排除。采用GAMA濕處理裝置，有效的加工參數也很容易調整。溫度、壓力、pH和氣體分布都是可調的，這有助於確保濕工藝操作的一致和準確結果。該機還包括了離子鍍層構型等特殊特性，可用於薄薄金屬薄膜的沈積。對於蝕刻工藝，AKRION GAMA濕加工工具使用無電蝕刻資產，以確保均勻準確的蝕刻工藝。對於鍍層，模型提供了廣泛的鍍層選項，包括真空濺射、直流電和脈沖電流鍍層。該設備還具有反應性離子蝕刻和離子銑削等降解能力。總體而言，GAMA濕處理系統是一個可靠、精確的濕處理單元，旨在為用戶提供最高的平版印刷效果。它可以用於任何種類的濕工藝操作，能夠處理當今先進的半導體和微電子產品的需求。