二手 AKRION GAMA #9210939 待售

AKRION GAMA是由AKRION Systems開發設計的濕式車站。它是一個獨立的自動化站，用於在一系列基板上進行高精度蝕刻、清潔、電鍍和沈積。這個濕式站非常適合微電子設備的處理，包括MEMS和NEMS的應用。它為各種材料和基材提供了出色的蝕刻均勻性和工藝重復性。GAMA濕站采用了尖端、耐用的技術，以實現卓越的工藝控制和性能。該站設有先進的抽水和配電系統，可輕松配置，以滿足客戶的需求。該站還包括閉環控制設備，簡化了過程控制和監控。AKRION GAMA提供了廣泛的流程解決方案。該站完全可配置，可以處理不同的基材，包括矽、介電、氮化矽、銅等金屬。它是一個模塊化的車站，可以集成到一個更大的系統中。GAMA采用密封表面和排氣設計，使其成為安全環保的濕式車站。加工化學品儲存在密封的容器中，這些容器自動裝入加工室。這樣可以防止任何有害物質進入環境。AKRION GAMA配備了一個超高分辨率的光學單元，可以進行精確的檢查和對準。多個過程化學室可用於各種應用。該站還包括差速泵，用於精確計量流體，以達到最佳工藝效果。此外,該站的溫度控制機在大批量生產運行期間確保一致的結果。GAMA在過程適應和優化方面提供了靈活性。直觀的圖形用戶界面和配方編輯器使工作站易於設置和編程。該軟件高度可定制,能夠處理多達50個不同的流程。軟件還允許手動控制過程參數以獲得最佳結果。AKRION GAMA是一個可靠耐用的濕式站，具有良好的蝕刻和清潔性能記錄。該濕式站具有良好的工藝控制和可重復性,確保了良好的設備產量和可靠性.是微電子器件制造應用的理想濕式站。