二手 AKRION GAMA #9278669 待售

AKRION GAMA
製造商
AKRION
模型
GAMA
ID: 9278669
晶圓大小: 6"
優質的: 1997
Wet bench, 6" Configuration: SMS H3P04 Bench Process: Nitride/Oxide wet etch 1997 vintage.
AKRION GAMA是半導體電路生產中金屬預處理和蝕刻的濕式站。它用於利用不同金屬的不同各向異性特性在金屬中產生圖樣。該站使用強大的氧化劑將金屬溶解成所需的模式。GAMA一般由反應室、蝕刻室、蝕刻器和化學加工系統四個主要組成部分組成。蝕刻劑是一種強大的氧化劑,通常是酸或酸的混合物。這種制劑在適當的比例和適當的條件下使用時,會溶解特定的金屬以產生所需的模式。反應室是引入蝕刻劑並進行蝕刻過程的區域。反應室通過密封的、流體密封的容器與現實世界隔開。這個容器被稱為蝕刻室。蝕刻室裝有多種部件。其中包括蒸汽密封室、金屬填充物和擋板,以確保蝕刻工藝得到優化。化學加工系統能準確測量蝕刻劑並控制蝕刻劑的流動。它類似於一個計算機程序,可以調整到精確的蝕刻參數,以達到期望的結果。該系統還必須進行校準,以保持精確和均勻的金屬溶解。一旦選擇了適當的配方,蝕刻溶液就被倒入蝕刻室。溫度升高,反應金屬在蝕刻室表面汽化。隨著金屬蒸發,它與蝕刻劑結合,開始形成圖樣。工藝的精確度取決於蝕刻濃度和溫度的精確控制。AKRION GAMA是一個強大的金屬蝕刻和預處理站,可以依靠它來創建所需的精確模式。它允許精確控制參數,以確保金屬以均勻的方式被去除。GAMA可用於復雜金屬半導體元件的生產,是半導體工業的寶貴工具。
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