二手 AKRION Mach2HP #9209820 待售

AKRION Mach2HP濕站是一種強大、先進的濕式化學加工設備，用於基材清潔、表面制備和蝕刻以及塗層熱處理。該站具有三個獨特的模塊，可精確處理各種尺寸和形狀的基板，包括單晶圓和平板尺寸。模塊包括旋轉速度可調的化學處理室、噴霧室和自旋沖洗單元。Mach2HP化學加工室設計用於清潔、制備、蝕刻和加工基材。它完全可編程,能夠精確控制參數,如旋轉速度、時間、溫度和壓力。該腔室配有液體供應、排氣、循環和過濾罐，使其能夠以閉環形式運行。最重要的是，該站設計成在水平或浸沒環境中工作，溫度適合清潔和蝕刻各種基板。AKRION Mach2HP噴霧室用於對基材進行均勻處理。雙軸可調旋轉木馬可實現精確塗層、噴塗和蝕刻操作。該站能夠處理一、二和三維物體，包括單晶圓和平板尺寸。此外，噴霧室還配備了溫度感應探頭和多個接入口，用於非接觸式溫度測量。Mach2HP的自旋沖洗裝置用於去除塗層熱處理前後基板上的任何多余殘留物。該單元是一個強大的兩軸電動平臺，具有可調的旋轉速度，能夠精確沖洗和幹燥基板。它被設計成可以在很大的溫度範圍內工作，內置的溫度控制系統允許精確控制蒸發速率。總體而言,AKRION Mach2HP濕站是一個強大的基板濕處理單元,旨在精確清潔、制備、蝕刻和加工各種形狀和尺寸的基板。模塊化機器非常適合各種行業，從電子到可再生能源，在安全、閉環的工具中提供對基板的精確控制和統一處理。