二手 AKRION UP-V2 HL 2000 #70444 待售

AKRION UP-V2 HL 2000是來自AKRION的高精度晶圓處理解決方案，旨在滿足半導體行業的需求。它在高性能加工節點的濕式化學蝕刻工藝中提供了更高的精度、準確性和可重復性。UP-V2 HL 2000濕式站具有模塊化機器人平臺、綜合濕式化學輸送、低壓化學氣相沈積、大容量烘烤和特征對準。該HL2000具有最先進的模塊化機器人平臺,專為靈活性、速度和準確性而設計。這個機器人平臺允許用戶快速重新編程工作站，以獲取不同的工具、任務和流程配方。低壓化學氣相沈積系統，允許用戶生產具有廣泛蝕刻化學選擇的均勻薄膜。此外，該站的綜合濕式化學輸送系統提供精確可靠的蝕刻化學物質直接輸送至基質。AKRION UP-V2 HL 2000還具有一個大容量烘烤系統，能夠容納多達12英寸晶圓和400毫米到700毫米基材。此外，該站還配備了功能對準系統，可在短短3秒內精確測量、對準和存儲功能數據。這允許在整個過程中進行高精度的特征測量和改進的可重復性。UP-V2 HL 2000為蝕刻工藝提供了卓越的性能和可重復性,即使在復雜的工藝流程中也是如此。它旨在滿足最苛刻工藝的需求，包括高長寬比蝕刻、高分辨率各向異性蝕刻和高溫蝕刻。該HL2000是前沿半導體器件生產的理想解決方案,可實現卓越的性能和過程控制。