二手 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9000962 待售

DNS/DAINIPPON FC-3000是一個濕式工作站，設計用於濕法加工晶片基板在先進的半導體制造應用。它具有濕式化學清潔和其他先進的加工能力，能夠在一次運行中容納多達14個晶片。它廣泛用於研發實驗室以及生產設施。DNS FC3000的核心是其初級處理罐。該罐裝有一個由用戶定義的參數組成的液浴，其設計目的是通過動態和精確的清洗過程同時清潔、蝕刻和將材料沈積到晶片上。該儲罐包含一個主腔室，該主腔室裝有四個攪拌器以保持浴缸運動，以及一個產生吸力效果的旋轉泵，鼓勵晶片通過儲罐。該罐還裝有十六個端口，每個端口都裝有多個單獨的噴嘴，用濕的化學溶液噴霧包圍晶片。這允許精確和均勻的化學應用，並允許同時處理多個晶片。DAINIPPON FC 3000的主要特點之一是其先進的安全機制。設備全封閉，減少操作員接觸危險化學品，並裝有壓力和溫度傳感器，可快速檢測系統故障，將其關閉，並提醒操作員註意問題。DAINIPPON FC3000還裝有泄漏檢測裝置和氣壓控制機。FC3000提供了一系列處理功能,包括降序、蝕刻、剝離、抗去除、鈍化和塗層。它可以容納範圍廣泛的晶圓大小，能夠一次處理多個晶圓。該工具還能夠每個端口一次處理多達五個晶片,從而實現快速周轉時間和更大的吞吐量。DNS FC-3000是先進研發實驗室以及生產設施的理想工具。其先進的安全特性、高精度的過程控制以及自動化的參數確保了可靠的運行和一致的結果。它是一種高度通用的工具,能夠提供多種處理功能,並且能夠容納多種晶圓大小。DNS/DAINIPPON FC 3000是先進半導體制造應用的絕佳選擇，可以提供經濟高效且高度可靠的濕處理解決方案。