二手 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9210946 待售

DNS/DAINIPPON FC-3000是一個用於高級光刻加工的濕站。該設備采用DIOS（有機溶劑的直接成像）工藝，具有精確定位光掩模的精密階段。該系統還配備了發光二極管（LED）放映機和曝光傳感器,可實現高通量的精確生產,不需要幹膜塗層。該單元可以以0.5微米或以下的分辨率處理直徑在5到300毫米之間的晶片，成為納米級器件打印的理想選擇。此外，該機內置微型定位電機和快速對準工具，使其能夠保持精確對準和可重現的精度，這對於高分辨率光刻系統至關重要。DNS FC3000設計用於處理多種光掩模,包括采用鍍鉻掩碼、電子束掩碼、金屬密封、防反射（AR）和彩色濾鏡（CF）技術制造的光掩模。資產的DIOS過程允許不受光掩碼缺陷影響的快速曝光時間,以及打印橫向和垂直通道以實現優越的模式再現。DAINIPPON FC 3000具有一系列軟件功能和工具,可確保操作員完全控制光刻處理的所有方面。這些工具包括用於確定適當的曝光時間、在掩蔽系統之間管理和傳輸數據以及控制焦點和曝光參數的工具。該模型還包括直觀的用戶界面和自動測試功能,以快速確保所需的結果質量。此外，設備還集成了一系列集成的校準/計量解決方案，使操作員能夠保持過程控制的最高精度。這確保了光掩模和目標圖樣之間的偏差可以在光刻過程中被檢測和糾正。總體而言,DNS/DAINIPPON FC 3000是一個先進的濕式工作站,旨在滿足對精密光刻加工的最高期望。它具有DIOS流程、快速對齊系統和一系列軟件功能,以確保每次都能獲得準確的結果。憑借其集成的校準/計量解決方案和直觀的用戶界面，該單元是生產具有高重復性和準確性的納米級器件的理想選擇。