二手 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9240250 待售

DNS/DAINIPPON FC-3000濕式加工站是一種高性能濕式加工站，專為要求苛刻的半導體制造應用而設計。該平臺為廣泛的先進光刻任務提供了最高程度的自動化和控制，包括光致抗蝕劑澆頭、洗滌、漿料緩沖、噴塗、曝光後烘烤和抗蝕條。DNS FC3000可以配置為滿足特定的流程要求。它有一個集成的超音速水箱、一個耐化學的床墊、一個去離子水（DI）水箱和一個耐化學的通風設備。通過直線電動機實現噴嘴和傳感器的高精度運動，在多個批次上提供準確和可重復的操作。該系統配有PDV-3000 RIST控制器，可精確控制溫度、壓力和其他參數。DAINIPPON FC 3000具有自動清潔裝置,可執行洗滌、幹燥和拋光操作。也可以設置為自動分配所需的化學品。本站兼容了廣泛的化學品和抗蝕劑，包括Zippy系列和其他高性能的抗蝕劑材料。它還提供各種模具和噴嘴套件,以及幹式、濕式和浸入式蝕刻功能。先進的安全和安全功能使DAINIPPON FC3000敏感流程環境的一個有吸引力的選擇。它是為了遵守嚴格的安全和安保協議而建造的。因此,它已通過認證以滿足最嚴格的UL和CSA標準。此外，該站還符合MOSFET Level III和HAST測試標準，確保了最高水平的重復性和可靠性。除了上述功能外,DAINIPPON FC-3000還與拖放作業調度機集成在一起,使操作員能夠有效利用可用時間。這使得該平臺非常適合繁忙網絡中的高通量應用程序。FC-3000濕式測站的設計旨在為復雜的光刻工藝提供最高水平的自動化和控制。它提供了對參數的精確控制，包括溫度、壓力和化學物質的分散。DNS/DAINIPPON FC 3000具有自動化清潔工具、先進的安全功能和用戶友好的作業調度功能,是要求很高的半導體制造應用程序的首選產品。