二手 DNS / DAINIPPON FC-3100 #78944 待售

DNS/DAINIPPON FC-3100濕站是半導體制造的高性能、經濟高效的自動化加工平臺。該設備采用先進的自動化和過程控制系統進行設計,以便在整個IC制造過程中減少幹預、最大限度地減少可變性並提高產量。DNS FC3100由兩室濕站處理能力組成。第一個腔室是一個濕工藝模塊，方便晶片的引發、蝕刻、沖洗和清潔。該工藝室由先進的工藝控制系統控制，提供高效、無風險的晶圓加工方法。這包括混合配方，調整溫度和壓力設置，控制腔內液體的流量和水平，以及監測電流狀況。該室還具有精確的壓力測量、自動化的過程控制和板載晶圓分選器。DAINIPPON FC 3100的第二室是幹燥模組，發生在濕製程模組完成後。該室采用熱、化學氣相沈積和直流電濺射工藝的組合，以幹燥晶片，並確保最佳清除多余的液體殘留物。這也有助於消除殘留物清除過程不一致造成的扭曲。晶片幹燥後,晶片分選器會自動對其進行排序和對齊,然後再將其發送到下一個進程。此外，FC3100濕站還設有一個有源故障監視器，該監視器顯示工藝室內的當前狀況，並協助調整與工藝現狀有關的參數。此外,實時反饋和流程知識有助於確保不斷實現最佳結果和效率。通過其高效的設計、集成的自動化和過程控制系統,FC-3100對於那些希望對其晶片進行高性能、經濟高效的處理和過程控制的人來說是必不可少的資源。