二手 DNS / DAINIPPON FC-3100 #9033293 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9033293
Wet station, 12"
Operating system: Windows
Bath configuration: LD/ULD-HS-HQDR-SC1-HQDR-HF-QDR-LPD-LPD
Load / Unload port: (2) Common
Mecha:
Motor: Servo motor
Robot
Chuck: Coating
H2SO4 Bath:
Material: Quartz
Heater
Filter: 30 nm
Use chemical: H2SO4 + H2O2
Wafer guide: Quartz
HQDR Bath:
Material: Quartz
Use chemical: DIW
Wafer guide: Quartz
SC1 Bath:
Material: Quartz
Heater
Filter: 30nm
Use chemical: NH4OH + H2O2
Wafer guide: Quartz
HQDR Bath:
Material: Quartz
Use chemical: DIW
Wafer guide: Quartz
HF Bath:
Material: PEEK
Heater
Filter: 30nm
Use chemical: HF
Wafer guide: PEEK
QDR Bath:
Material: TEFRON
Use chemical: DIW
Wafer guide: PEEK
LPD:
Material: TEFRON
Heater
Use chemical: DIW + 1PA + HF
Wafer guide: PEEK
2007 vintage.
DNS/DAINIPPON FC-3100是一個用於半導體光刻和蝕刻的濕式站。它是一種包含超高分辨率步進器和掃描儀的組合設備，具有先進的CCD式控制器，用於蝕刻半導體芯片。其精度由X-Y級和長行程z-軸的組合維持。DNS FC3100有一個動態多鏡頭系統，提供精確度來創建復雜的微芯片。這三個光學器件中的每一個都被編程為提供一個截然不同的焦點平面。然後將光學單元與一個精密級耦合，該精密級允許微調機器中的各種參數。掃描級使用具有長行程Z軸的X-Y級，以保持高達1 µm的整體精度。DAINIPPON FC 3100具有自動基板加載工具,用於將基板加載和卸載到操作區域。基板加載資產配有傳感器，用於監控晶圓的放置。傳感器在加載和卸載期間提供警報,以提醒操作員任何與指定參數不對齊或偏離的情況。將光學檢測模型與檢測基板缺陷的FC-3100相結合.該設備配有高精度透鏡和圖像處理軟件，用於在從操作區域去除基板之前識別缺陷。然後,將此缺陷檢測與自動硬件系統結合起來,該系統將有缺陷的晶片與操作區域進行檢查和隔離。DAINIPPON FC-3100還有一個環境控制單元來維持工作溫度。這臺機器為步進器和掃描儀的光學隔間提供精確的溫度控制，並確保所有變量的操作都得到優化。最後，DNS FC 3100配備了手持式慢跑控制器等安全功能。這個慢跑控制器可以讓操作員仔細導航舞臺，協調光學系統。此外，DNS/DAINIPPON FC 3100附有一個低排放攪拌真空工具，以確保石油、灰塵和汙染按照工藝規範得到控制。總之，FC 3100濕站是一種高度精密和先進的資產，旨在為半導體芯片提供高度精確的處理。它結合了自動光學系統、精密級、環境控制、自動晶圓處理和安全功能,是光刻和蝕刻操作的理想選擇。
還沒有評論