二手 DNS / DAINIPPON FC-3100 #9137273 待售

DNS / DAINIPPON FC-3100
ID: 9137273
晶圓大小: 12"
Systems, 12".
DNS/DAINIPPON FC-3100是一個設計用於光刻工業的濕式站。它配備了20英寸的光刻盤,具有專利雙噴嘴設計,在處理光掩模、步進器、掃描儀和投影/還原光學器件時允許明顯更高的吞吐量。此外,DNS FC3100中還可以設計多種可選的附加模塊。因此,DAINIPPON FC 3100可以配備自動流體開關、自動噴嘴高度可變性、自動級行程限制設置、自動解決方案溫度控制等額外功能。DNS/DAINIPPON FC 3100還擁有一系列令人印象深刻的其他功能。該裝置有兩級沈降罐、集成化學純度監測設備和用於改善流體循環的渦輪混合室。兩級沈降罐使每一個光掩模都能得到更徹底和快速的處理,而化學純度監測系統讓用戶安心,知道它正在處理的化學品質量是達標的。渦輪混合室還提供均勻高效的流體循環,保證光掩模得到充分處理,所有光致抗蝕劑均勻分布在基板表面。此外,DNS/DAINIPPON FC3100具有直觀的用戶界面,具有物理鍵盤和交互式液晶顯示器。基於Windows的軟件包還為用戶提供了對物理鍵盤、顯示器以及化學純度監控單元和渦輪混合室設置的控制。此外,許多項目和條件可以預先編程到軟件包中,以便FC-3100通過自動處理一系列照片掩碼來節省時間和成本。為了增加便利和安全,DAINIPPON FC3100還內置了一個安全室。該腔室通風,並配有傳感器,用於檢測溫度或化學濃度何時超過一定水平。如果發生這種情況,警報會響起,腔室的過濾器會自動啟動以清除任何危險物質。此外,輕型窗簾機可防止GC-3100的細膩零件意外損壞。最後,FC3100是一個非常可靠的濕式工作站,為用戶提供卓越的光掩模處理性能.其創新設計具有優越的流體流動、直觀的用戶界面、化學純度監測工具、安全室以及各種可選的附加模塊。此外,基於Windows的軟件包使控制DNS FC 3100成為一種微風,允許各種定制的預編程設置。
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