二手 DNS / DAINIPPON FS-820L #293592680 待售
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ID: 293592680
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Wet station, 8
S/D
ONB1
ONB2
ONB3
CSB1 Chlorine
CSB2 H202
CSB3 HF
CSB4 HCL
CSB5 HF
Chemicals: H202, HCL, HF, Choline
Power cabinet
Aspirator
PRETECH PT-08M
DI Water heater
ULTAS PT Generator 06BSV
Dual megasonics
Robot loading
1997 vintage
DNS/DAINIPPON FS-820L濕式工作臺是用於處理小型和大型基板的臺式清潔室設備。它為各種基於晶片的應用提供了高質量的工藝結果,包括電鍍、濕蝕刻和光刻帶。DNS FS-820L是實驗室的理想選擇,特別是由於它的手動或自動泵的選擇.這個濕式工作臺帶有自動化的過程控制,包括可編程安全系統和圖形用戶界面;這使用戶能夠輕松監控流程參數。DAINIPPON FS-820L濕站的主要部件是主框架、主坦克、背面坦克、溢流坦克、廢物罐、青銅網盤以及多個可選坦克。主罐,又稱浸泡罐,在加工過程中保存零件和液體。它由不銹鋼制成,絕緣以保持預定溫度。同樣采用不銹鋼制成的背面水箱,用來固定浸入式水箱和溢流式水箱。此外,青銅網托盤有助於保持液壓懸浮部件在儲罐底部的水平,而不是在過程中移動。溢流罐設計用於回收通過主罐的電鍍溶液,然後再利用。廢料罐用於有效處置受汙染的溶液和去混合電鍍溶液。FS-820L濕站還包括其他輔助部件,如DI水和循環泵、工藝控制器和功率棒,用於控制定子液體的溫度、壓力和流量。此外,DNS/DAINIPPON FS-820L還配備了氣動膜轉運站。該站用於確保每個零件在濕法過程中得到安全處理和精確定位。沖洗裝置也與該站集成,允許控制定子液體的汙染水平。DNS FS-820L濕式工作臺采用模塊化結構設計。這允許根據用戶的需求和預算添加組件。該站還設計用於提供與各種定子的兼容性,並考慮到用戶安全。先進的濾水機有助於減少汙染物,內置的DI水使工藝速度更快、效率更高。DAINIPPON FS-820L是一個節能的濕式站,它提供完整、自動化的解決方案,以滿足各種晶圓處理應用程序的需求。
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