二手 DNS / DAINIPPON FS-820L #293753902 待售
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DNS/DAINIPPON FS-820L是為濕工藝應用而設計的濕式工作站。該濕站提供了一個完整可靠的工藝解決方案,以滿足研究和生產的需求。該站由幾個組件組成,包括濕式站體、腔室、晶圓盤和控制器。濕式站體由堅固、耐腐蝕的不銹鋼底座和耐高溫頂蓋組成。該腔室分為兩段,工藝腔室的溫度範圍為10至180 °C,濕度範圍為0-60%。該腔室還有一個集成腔室通風系統,用於控制和維護操作過程中的最佳腔室條件。濕式工作站包括一個帶有五個可調托盤的大托盤臺,允許用戶同時高效處理多達五個不同的晶片。控制器是濕式站的中心單元,設計用於支持手動和自動濕式過程。它能夠控制溫度和濕度等過程參數,以及控制機械臂的運動以進行樣品處理。控制器最多可編程32個配方,最多可編程64個流程步驟。濕站有一個內置PC與PC軟件提供數據記錄和分析過程條件和過程結果。濕站安裝操作方便。它的占地面積很小,可以放在任何生產環境中。該站獲得CE和UL認證,非常適合工業用途。DNS FS-820L是一種可靠、高效且經濟高效的濕加工工藝解決方案。
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