二手 DNS / DAINIPPON FS-820L #9026293 待售

DNS/DAINIPPON FS-820L濕式站是專門為半導體工業設計的先進濕式加工機。它能夠處理晶片級和芯片級流程,從而提高流程靈活性和吞吐量。DNS FS-820L的主要特點是其先進的水解技術。這項技術使用戶能夠實現高水平的工藝重復性和低水平的晶圓經紗和顆粒汙染。它還具有按需處理的功能,可實現快速、準確的流程運行。DAINIPPON FS-820L的核心是它的拆分模塊,分為清潔、幹燥和IPA沖洗五個階段,每個階段都針對每一個過程進行定制。拆分模塊可實現最高級別的清潔、幹燥和IPA沖洗性能,從而確保完美的最終產品。此外,GlaCeraTM溶液可將純凈水保持在穩定的超低溫下,以防止泄漏並確保清潔。FS-820L還包括一個加載臂模塊,該模塊具有三個階段的過程,可以根據特定需求進一步定制一個過程。此模塊可幫助自動執行負載端口、端部效應器和平電池拆卸/安裝等過程。濕式工作站還提供了許多其他功能，如增強的帶有液晶的用戶界面和可定制的按鈕，用於簡化流程設置；以及用於控制、數據收集和流程可追蹤性的直觀軟件包。總體而言,DNS/DAINIPPON FS-820L是一個高效可靠的濕處理系統,可提供多種工藝選擇。它旨在最大限度地提高工藝效率，最大限度地減少晶圓扭曲，並確保最佳的顆粒汙染水平。DNS FS-820L具有先進的功能、靈活的工藝功能和直觀的設計,是半導體行業的理想工具。