二手 DNS / DAINIPPON MP-3000 #9095610 待售

DNS/DAINIPPON MP-3000是一個用於半導體晶片臺式加工的濕式工作站。它用於在氮環境下用集成的工藝室清潔或幹燥晶片基板。濕式站設有獨特的自動可編程過程控制器，最多可節省15個周期和50個程序配方。這使DNS MP-3000能夠快速高效地開發和重復標準或特定於過程的循環配方。其低氧環境可確保低型模具附著過程,而其-55°C至200 °C的可調溫度範圍可確保最佳蝕刻速率,而不會造成熱彎曲或熱失控。DAINIPPON MP3000配備了三個獨立的沖洗站和兩個空化系統，可實現一致的濕法晶片清洗。沖洗站可調整為固定的重復沖洗時間或每次單獨沖洗的獨立中繼站。空化系統產生分子水平的氣泡相互作用，快速有效地分解有機殘留物。循環過程包括一個真空室，用於在濕法化學過程後幹燥基板，從而實現快速高效的循環一致性。MP3000還具有手動和自動蓋子打開/關閉功能以及集成的泄漏量規控制功能,以保持高工藝質量。排水溢流保護可防止漏水,而循環過濾系統可對各種清潔劑進行經濟高效的過程控制。其集成的晶圓弓校正系統可提供卓越的基板平整度,而不會延長加工時間.濕站擁有直觀的用戶友好觸摸屏控件，使配方設置和操作簡單高效。DNS/DAINIPPON MP3000具有內置PC系統,其內存容量大,可存儲多達2,000個配方和200組生產/產量數據。它還具有集成的通信選項,可提供強大的數據管理功能。其全面的設計，保證了優越的晶圓表面清潔度和均勻度，優化的基板平整度，以及優越的循環一致性。