二手 DNS / DAINIPPON MP-3000 #9127747 待售

DNS / DAINIPPON MP-3000
ID: 9127747
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Metal wet etch, 12" Separation unit: (5) Chemical cabinets: CC1 CC2 CC3 CC5 MU (2) Local chemical supplies: TK CSU Controller: UPIBOC-III MEIDEN ID Robot: YASKAWA XU-RCM 5400 TR Robot: Komatsu HGR-62-D Temp. controller: Yaskawa XU-CM 5800 Teach pendent Signal tower: (3) Colors (GYWR) Type: PATLITE LED Power supply: 200V, 3 Phase, 33kVA, 94A, 50Hz (Main break: 125A) 2003 vintage.
DNS/DAINIPPON MP-3000是用於制造半導體器件的先進濕加工站。該系統旨在最大限度地提高效率,同時最大限度地降低與生產相關的成本。該站將包括德加單元、自旋漂洗烘幹機、化學濃度監測儀和化學分配單元在內的幾個單獨設備的能力全部合並為一個工作站。它對於需要多個步驟的過程特別有用,因為該站可以很容易地集成到現有生產線中。德加裝置用於通過沸騰和熱誘導汽化去除液體中的雜質,例如水。這有助於保持生產環境的清潔和無汙染物。自旋漂洗幹燥機利用離心力,在同一循環中有效地漂洗和幹燥晶片,快速而幹凈。可以使用多種化學物質,包括酸、堿和洗滌劑,以實現最佳清潔。化學濃度監測器的設計目的是確保向晶片中添加適當數量和類型的化學物質。這是通過測量液體中的各種組分濃度,並在操作人員需要調整化學濃度時向他們發出警報來實現的。化學品分配單位與化學品濃度監測儀配合工作,以提供安全和準確的化學品分配。這消除了手動測量和分配的需要,從而減少了汙染的機會。DNS MP-3000除了具有許多功能外,還易於操作,並配有用戶友好界面,使操作員能夠根據需要快速調整設置。這些設置可以保存並重新用於以後的進程。總體而言,DAINIPPON MP3000是一個現代化的濕式站,可以使任何半導體生產線受益。它兼具特性和功能,使其成為可靠高效的選擇。
還沒有評論