二手 DNS / DAINIPPON / SCREEN WS-820L #293774674 待售
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ID: 293774674
晶圓大小: 8"
優質的: 2009
Wet station, 8"
CIM
SMIF Interface
Quartz / PFA Coater:
Tank 1: LD
Tank 2: CHCL
Tank 3: SC1
Tank 4: QDR
Tank 5: EDR
Tank 6: SC2
Tank 7: QDR
Tank 8: HF
Tank 9: EDR
Tank 10: LPD
Tank 12: ULD
2009 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-820L是一個用於半導體制造工藝的濕式站,用於清潔和濕式加工應用。這座高性能濕式站采用先進的技術和特點設計,以滿足半導體行業苛刻的要求。DNS WS-820L濕站的核心是其精確的控制設備,它可以對晶片進行精確和可重復的處理。該系統配備了先進的傳感器和控制器,用於監測和調節溫度、流量、化學濃度等關鍵參數,以確保一致可靠的結果。這種控制水平對於實現半導體制造的高工藝均勻性和質量至關重要。SCREEN WS-820L濕站的主要部件包括化學輸送單元、晶圓處理機、工藝室和排氣系統。化學品輸送工具負責將加工化學品準確地混合和輸送到加工室。它配有泵、閥門和傳感器,以控制化學品的流動並確保精確的劑量。濕站晶片處理資產WS-820L設計用於通過各種工藝步驟安全運輸晶片。它包括機械臂、自動裝卸機制等功能,以及高級晶圓映射功能,用於在加工室內精確定位晶圓。晶圓處理模型對於盡量減少晶圓在加工過程中的破損和汙染至關重要。DAINIPPON WS-820L濕站的工藝室是為晶圓的清潔、沖洗、幹燥等特定工藝步驟而設計的。這些腔室采用與各種工藝化學方法兼容的材料建造,旨在提供出色的耐化學性和均勻的流動分布。工藝室還配備了加熱和冷卻能力,以控制工藝解決方案的溫度。DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-820L濕站的排氣系統負責清除處理過程中產生的煙霧和化學蒸氣,以維持安全的工作環境。排氣系統裝有洗滌器、過濾器和監測裝置,用於捕獲和中和有害氣體,然後再釋放到大氣中。正確的排氣設備設計對於遵守環境法規和確保操作員安全至關重要。除了核心組件外,DNS WS-820L濕式工作站還具有用戶友好界面,使操作員能夠輕松編程和監控流程參數。該系統配備了觸摸屏顯示屏、直觀的軟件和遠程訪問功能,以實現高效操作和故障排除。用戶界面還提供有關流程性能和單元狀態的實時反饋,以提高總體生產率。總體而言,SCREEN WS-820L濕站是半導體濕處理應用的前沿解決方案。其先進的控制機器、精確的化學輸送、堅固的晶圓操控以及高效的排氣系統,使其成為大容量半導體制造設施的理想選擇。通過提供一致和可靠的結果,WS-820L濕站可幫助半導體制造商實現更高的產量,改進過程控制,並提高產品質量。
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