二手 DNS / DAINIPPON SU-3000 #293638917 待售

DNS / DAINIPPON SU-3000
ID: 293638917
Wafer cleaner.
DNS/DAINIPPON SU-3000是一種濕式站解決方案,旨在為半導體器件和部件的制造和計量提供統一、清潔和可靠的濕式蝕刻工藝。濕蝕刻是使用化學物質完成的,這些化學物質會反應和蝕刻細膩的金屬,如鋁和銅。這項技術被用於許多不同的半導體應用,如MEMS器件、微流體芯片和納米機電系統(NEMS)。DNS SU-3000的核心是液體分配設備,其設計目的是準確、精確地控制濕蝕刻過程中使用的酸性和堿性化學品的分配。該系統能夠準確地控制化學品的輸送,並確保將所需數量的化學品輸送到需要蝕刻的基材上。該單元還包括用於制造均勻溶液並確保均勻蝕刻速率的混合機和泵。DAINIPPON SU 3000還包括一個電動基板支架,用於在蝕刻過程中固定和移動基板。這種電動支架的設計目的是為基板提供一個安全可靠的平臺,同時也提供基板相對於液體分配和蝕刻室的精確移動。這樣可以對基板進行均勻蝕刻,同時也可以避免手動處理可能造成的任何潛在損壞或不均勻。DNS/DAINIPPON SU 3000還包括一個安全和控制工具,旨在確保以安全和受控的方式進行蝕刻過程。資產使用傳感器監測和檢測蝕刻室或周邊地區是否存在任何有害物質。它還包括一個互鎖模型,如果檢測到任何有害物質,它將自動切斷蝕刻室的電源。SU-3000是一種濕式站臺設備,可對敏感金屬層和部件進行可靠、清潔和均勻的蝕刻。它提供了極好的精確度、控制和安全系統,能夠可靠地操作蝕刻工藝,同時還能提供幹凈和統一的結果。該系統能夠蝕刻各種金屬層,可用於各種制造和計量應用。
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