二手 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9210948 待售

DNS/DAINIPPON SU-3000濕式測站是一種綜合性的光刻工具，設計用於提供各種光刻和亞微米工藝的精確、高分辨率結果。該設備具有最先進的濕式舞臺和光學設備,包括用於掩模對準、陣列和編輯的高級選項。該系統采用獨特的快速回流工藝，在晶片上快速塗覆和發展抗蝕層，使其最適合於掩模制作、光掩模檢測以及傳統光學光刻等應用。DNS SU-3000為所有類型的光刻工藝提供了一個堅固、穩定的平臺,具有高度精確和可調的掃描級、XY級以及先進的光學和成像系統。濕級設計為高通量，操作簡單，符合人體工程學，開銷低。掃描頭配備了可調掃描儀，提供自動模式對準和高速、精確的移位掃描。光學和成像系統提供了一系列自動對齊模式和編輯工具,如模式叠加、子單元調試和基於模式的註冊。此外,該設備還通過其先進的視覺設備提供先進的晶圓對準和形狀檢測功能。它可以配置用於各種不同的工藝需求，包括介電、多晶矽蝕刻和其他所需的工藝，這取決於應用程序的要求。該工具具有全自動的實時反饋功能,能夠快速高效地轉動抗蝕層,從而提高過程的準確性和吞吐量。該資產能夠產生高質量和細節的照片蒙版、標線和其他抵抗層。因此,它非常適合實現高分辨率和復雜的功能。此外,它還具有過程控制功能,包括全參數調整、直觀的用戶界面以及專用的數據記錄和報告生成模型。這些功能有助於簡化流程並確保可靠、可重復的結果。DAINIPPON SU 3000濕站是滿足微光刻需求的理想解決方案,可提供一致的結果和可靠的性能。這種綜合設備結合了最新的工藝自動化和成像技術，使其成為任何光刻或蝕刻工藝的絕佳選擇。