二手 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9280925 待售

DNS/DAINIPPON SU-3000是為制造階段的微電子器件塗層後端工藝而設計的濕式站。它設計用於真空環境，使晶片表面與液體化學物質和基板接觸，不受空氣或其他汙染。DNS SU-3000采用集成、多步驟和靈活的制造工藝,包括化學或氣相沈積工藝、自旋塗層、烘烤、冷卻和熱固化。所有這些過程都是由數字計算機系統控制的。工藝的每一個步驟都是在液體環境中實現的，這種環境有助於在設備的表面上創造統一和一致的塗層質量。霧化化學液滴均勻分散，可以精確調諧，以盡量減少任何有害變化的影響。濕式工作站有一個負載單元，可以測量元件的重量，自動調整配方參數，並優化可重復性。過程中收集的數據被記錄到計算機內存中以備將來使用。DAINIPPON SU 3000配備層流系統，有助於減少空氣中的顆粒，調節顆粒尺寸。它還具有背光LED顯示器,可在弱光條件下實現最低能見度。車站設計具有先進的安全特性。它有兩個可調節的隔膜閥，幫助調節蒸氣和防止任何意外液體溢出或暴露。安全功能包括自動環境監測和警報,有助於確保操作員的安全。DNS SU 3000是一個易於使用、成本效益高且可靠的濕式站，有助於提高微電子工業中薄膜沈積工藝的效率和質量。它提供了可自定義的配方參數、高精度的重量調整、環境監控以及高流程可重復性。