二手 DNS / DAINIPPON SU-3000 #9361457 待售

DNS/DAINIPPON SU-3000濕站是一種高性能的加工工具，旨在有效地制造半導體晶片和掩模等基材。這個濕站集成了最新的技術進步，提供了最高的精密處理能力。DNS SU-3000濕站非常適合需要精密的微蝕刻工藝的應用,同時還提供了可靠的平臺,並使工藝與標準行業實踐保持一致。DAINIPPON SU 3000提供了一套高性能的工藝工具和功能,包括XY-Drive模塊和無刷主軸電機,可提供高扭矩功能和高速主軸組件,以最大程度地減少振動。集成控制器支持手動和自動加載/卸載多個晶片批次和PLC邏輯自動流控制。此外,控制器還支持過程監視,允許用戶在進一步處理之前監視串聯晶圓厚度。DAINIPPON SU-3000平臺的緊湊、符合人體工程學的設計提供了對所有組件和系統組件（包括壓板、前門和機櫃）的絕佳訪問。每個系統還包括一個夾具，使基板易於處理和自動加載。夾具還用作底物對準和復雜工藝控制的夾具。濕式站支持廣泛的工藝，包括緩沖和阻滯層光刻、環氧定向切割、化學機械平面化（CMP）和化學蝕刻。設備的快速鎖定平臺確保基板在加工過程中保持完美水平。DNS SU 3000還提供多種高性能的化學預處理，包括化學和機械洗滌、化學拋光、過氧化氫氧化。SU 3000濕站提供了多種特性和性能的結合，使其成為高級濕法分析的理想選擇。該平臺提供了可靠且經濟高效的解決方案,非常適合各種濕處理應用。