二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293615278 待售
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單擊可縮放
ID: 293615278
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Wet station, 12"
PR Strip process (DECAP)
PC
(8) Chambers
Chemical: SC-1, SPM
Temperature (SPM / SC-1): 50°C-150°C / 30°C-120°C
Handler
(4) Load ports
Chemical units: H2SO4, H2O2, NH4OH, DHF
Overhead Transport System (OHT)
YASUKAWA ELECTRIC CORPORATION XU-ACT153L-H01 ID/R
CAMBRIDGE Filter GA5-445480E-SWLER FFU
Capacity: 99.9999 <% or more of 0.1 µm particle
Test (m³/min): 5.6 at 120 pa
Range of air control: 0.4 m/sec
Shield plate
Spin base:
Material: PCTFE
Spin motor: AC Servo motor
Revolution: Maximum 3000 rpm
Revolution accuracy: ±3 rpm
Chuck:
Drive: Pulse motor
Material: PCTFE, ETFE
Wafer detection: Detection by chuck pins
Shield plate:
Material: HT-PVC
Revolution drive: AC Servo motor
Revolution: Maximum 3000 rpm
Acceleration: Maximum 1000 rpm/sec
Revolution accuracy: ±3 rpm
Shift: AC Servo motor
Wafer surface distance : Minimum 0.3 mm
Splash guard:
Structure: Chemical collection
Material: PTFE
Shift: AC Servo motor
Sputter:
Drive: Air cylinder
Chemical cabinet-1,2: Temperature control of low temperature
Chemical used: SPM, SC-1
Mixing ratio: Premix
SPM: 50-150°C
SC-1: 30-120°C
Circulation pump: PILLAR
In-line heater
E-Flow:
SD16L-24SHR E Module
HORIBA HE-480-DC Resistivity meter
ESD-001C-T Resistivity sensor
CK-10M Sensor cable
EFA-30 Sensor holder
MY2N-CR DC 24 V Relay
Chemical cabinets:
CC1-SPM
CC2-SC-1
E-Flow
(4) Cooling tanks
Power rack
Missing parts:
I/O Board
H/D
2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100濕站是一種實驗室級的設備,用於創建可控制的環境以準備樣品。該單元取水等大量液體,可用於多種應用,包括高科技制造、食品加工、生物檢測等。DNS SU-3100設計為在空氣輸送和吸力之間提供精確和可調的平衡,創造穩定和均勻的溫度範圍,以便在實驗中獲得準確的結果。濕水站采用兩個水浴,分成不同的部分,利用內部整合過程使液體均勻循環。這兩個浴池的組合創造了一個可調從2攝氏度到15攝氏度的受控環境。DAINIPPON SU 3100的內置水循環系統旨在為用戶提供準確的樣品生長觀測,並保持他們選擇的穩定溫度。使用者只需調整空氣輸送,以維持標本的精確溫度。集成控制面板便於監測水溫,設置參數,並根據需要接收報告。用戶還可以調整送風設置,以操縱試驗室周圍的室溫。濕站在質量控制方面也起著至關重要的作用,因為它保持了有利於確保產品準確性和安全性的濕潤環境。所有部件均由耐腐蝕材料制成,可承受長期的水暴露。DAINIPPON SU-3100具有全面的控制系統,包括用戶友好、可調節的控制面板和易於讀取的背光液晶顯示屏。該單元與大多數液體類型兼容,可與多種標本一起使用。最後,DNS/DAINIPPON SU 3100濕站在空氣輸送和吸力之間提供了精確、可調的平衡,為制備樣品創造了受控環境。它可以根據用戶的要求輕松保持潮濕或幹燥的溫度。該單元非常適合各種行業,是為長期使用而設計的。
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