二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293617641 待售
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ID: 293617641
優質的: 2010
Wet station
(8) Chambers
Chemicals: BOE, HF, O3
Does not include PC
2010 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100 Wet Station是一種集成式濕處理器,設計用於各種半導體生產過程。它利用堅固、高精度、直接驅動的電機控制來支持多種用途,包括光刻、化學機械拋光(CMP)、幹式壓花和沈積。DNS SU-3100是生產線的精密組件,其緊湊的設計非常適合緊湊的工作區。它采用單件不銹鋼結構,重量可達400公斤。DAINIPPON SU 3100還配備了一個全面的、易於使用的圖形用戶界面,確保高效準確的配方歸檔。DNS/DAINIPPON SU 3100的範圍和精度針對高通量過程進行了優化,最大速度為15 m/min,精度為± 0.1 mm。SU-3100還具有全自動的可編程溫度控制系統,溫度範圍從室溫到850°C。除了人性化、直觀的設計外,DNS SU 3100還設計使維護更加簡單。不銹鋼浴缸和外殼的制造方便清潔,帶有凸起的前門,可直接進入內部部件。還有廣泛的內置診斷和指標,包括高pH警報、溫度傳感器和油浴級指示器。SU 3100適用於多種生產應用,包括濺射、物理氣相沈積(PVD)、電子束沈積(EBD)、電鍍和電腦化軸向斷層掃描(CAT)掃描。此外,各種定制和附加組件都可以並入單元,如自動化控制、控制環路反饋系統、分布式控制系統等等。DAINIPPON SU-3100的設計具有最大的可靠性和靈活性,適用於各種濕處理應用。DNS/DAINIPPON具有強大的設計、直觀的用戶界面和多樣的應用範圍,SU-3100要求高精度和高精度的生產工藝的理想選擇。
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