二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #293762489 待售

DNS / DAINIPPON SU-3100
ID: 293762489
Wafer cleaning system.
DNS/DAINIPPON SU-3100是為增強和改進半導體芯片制造工藝而設計的濕站。它是一種計算機控制的設備,用於化學機械拋光(CMP)、化學機械平面化(CMP)以及晶圓和芯片的化學濕法加工。該系統能夠以高效和自動化的方式進行濕式化學加工,同時盡量減少人工幹預。該裝置具有最先進的晶圓傳送帶和帶有幾個側面安裝的機械臂的大腔室。機器人臂用於精確控制化學濕加工和平面化操作,以及移動半導體晶片和芯片。機器的主室裝有幾個傳感器,包括溫度、濕度和壓力傳感器。該室還配備了多個化學控制站和一個計算機控制的配藥工具,能夠在濕法過程中精確控制和輸送正確數量的液體和溶劑。除了自動化流程外,DNS SU-3100還具有集成的測量和分析資產,能夠評估和監測晶圓和芯片性能。該模型包括一個集成顯微鏡、光學陣列和一個集成軟件,可以分析檢測到的數據並生成晶圓和芯片性能的精確圖。濕站還包括一個數字成像設備,可以捕獲晶圓和芯片表面的圖像,以便進一步分析。該系統精度高,能夠測量晶片和芯片的表面粗糙度。最後,該單元包括一個先進的過程控制機器和一個集成的數據記錄工具,可以存儲數據和處理數據以進行報告和進一步調查。總之,DAINIPPON SU 3100是一個高度先進的濕式站,在濕式化學和平面化過程中提供精確控制。其集成的測量分析資產和數字成像模型提供了準確的性能數據和圖像捕獲能力,而其集成的過程控制設備和數據記錄系統為用戶提供了一個全面的平臺來理解和分析數據以進一步優化。
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