二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #9208159 待售

DNS/DAINIPPON SU-3100是一個濕式站，設計用於半導體工業中晶圓和其他基材的最大處理。它能夠處理直徑不超過450mm的晶片，在單晶片和雙晶片處理上提供精確和均勻的蝕刻。該站由中央處理罐及其內部部件、晶圓運輸機器人、控制設備幾個部分組成。中央處理罐由不銹鋼製成，以3000rpm的速率進行磁攪拌。集成刮刀確保所有材料都得到充分利用，不會浪費任何東西。該罐可用於安全拆卸和更換晶圓溶液，可加壓至最大5巴。DNS SU-3100的晶圓運輸機器人是其最具創新性的特點之一。它設計用於將晶片從裝載區安全地移動到中央處理罐中，處理速度最小。它包括一個使用高級反饋系統在處理罐內部導航的六腳機器人。一旦晶片被牢固地定位，機器人手臂就會操縱它們--轉動它們，調整它們的對齊方式，並放置它們進行蝕刻。DAINIPPON SU 3100還有一個強大的控制單元，有助於確保蝕刻過程的準確性和可重復性。該機包括和工業PC，擁有管理蝕刻工藝的最新軟件，以及一套監控和調整流速、溫度、粘度和壓力等參數的數字儀表。綜上所述，DAINIPPON SU-3100一個針對半導體行業進行優化的濕式站，能夠以最高精度蝕刻直徑達450mm的材料。其不銹鋼加工罐具有磁攪拌和可凈化特性，晶圓運輸機器人提供安全、自動化的處理。最後，它強大的控制工具可以編程，以適應廣泛的蝕刻要求。