二手 DNS / DAINIPPON SU-3200 #293591976 待售

DNS/DAINIPPON SU-3200濕站是一種先進的真空晶片加工設備，設計時考慮到可靠性和性能。適用於廣泛的濕法工藝，如耐塗層、顯影、沖洗、蝕刻、清潔等。這個濕式工作站采用強大的自動裝載系統，無需手動處理基板，並提供準確和可重復的應用程序。該裝置的核心是DNS皮帶驅動電機和運動控制伺服機。這允許加載和處理組件的精確和可重復運動。晶圓傳輸臂具有雙向電動跨度和高程，提供高通量、可調節的運動範圍。線性和旋轉式執行器提供控制的、可重復的運動,具有一定的速度範圍.該工具包括一個具有多位置旋轉傾斜工藝模塊的四級工藝室。該腔室提供三個單獨的儲層，用於多種工藝解決方案，並配有一個封蓋氣體隔離閥，以最佳地控制工藝氣體，並有效地清除工藝煙霧。此外，一套可調節的空氣刀提供橫流幹燥，以減少自旋幹燥時間，提高晶圓吞吐量。為了提高安全性，DNS SU-3200濕式測站配備了高速光學探測器，用於監測晶圓的處理和檢測輸送機上是否有碎片。資產還包括一個自動負載監控和過程控制模型，用於監控過程參數，如溫度、旋轉速度和腔室壓力。此外，一個抗蝕劑監控設備和一個遙控面板為操作員提供了對系統的實時控制。DAINIPPON SU 3200濕站是一個先進的真空晶片處理裝置，設計提供可靠和可重復的性能。憑借其強大的電機和運動控制、自動化加載機和過程監控工具,該資產為各種濕法過程提供了高效、安全的解決方案。