二手 DNS / DAINIPPON SU-3200 #293596498 待售

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ID: 293596498
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Wafer cleaning system, 12" (12) Chambers (2) Ozone CIM: SECS / GEMS Process: SOM / SPM / SC1 / SC2 / O3W / DHF KAWASAKI Handler Factory interface: (4) FOUP 2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3200是一個濕式加工站,設計用於執行各種濕式加工步驟,包括電鍍、光刻、蝕刻和制備步驟。該站的主要部件包括浸入式儲罐、壓實容器、真空儲罐、陽極艙和蝕刻室。此工作站適用於在單個處理設置中執行多個應用程序。DNS SU-3200浸泡罐具有連續進料能力和受控攪拌特性。該罐設計用於零件的快速溶解、活化和清潔。它具有可調速度攪拌器,溫度範圍為20-60°C。它還包括一個加熱的溢流罐,使電解質水平保持在產品水平以上。壓實容器用於在產品加工過程中固定產品。它設計用於在電鍍過程中對產品施加壓力,同時也作為電解質溶液的儲罐。它具有可調節的高度裙,溫度控制範圍為40-60°C。真空罐用於在罐內產生真空。這在進行光刻時很重要,因為真空有助於確保均勻的薄膜塗層。坦克裝有疏散孔、進氣口和出口口,溫度範圍為40-60°C。陽極隔室是零件被鍍的腔室。它包含一個加熱元件來增加溫度,以及一個可調節的擋板來優化電流密度。它具有用於計算機控制的電鍍過程的電氣連接。最後,將蝕刻室用於濕蝕刻。它配有一個大開口,用於轉移溶液,以及獨立的溫度控制和真空控制。腔室有可調節的擋板,有助於控制電流密度。總體而言,DAINIPPON SU 3200是一個可靠的濕站,用於執行各種濕處理應用。多個儲罐和密室使其成為進行多種應用的多功能濕站。其可調的溫度控制和攪拌能力有助於確保高精度的結果。
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