二手 DNS / DAINIPPON SU-3200 #293617642 待售
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ID: 293617642
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Wafer cleaning system, 12"
Process : Spray clean
Chemical: SC1 / DHF / H2SO4 / O3
(12) Chambers
Factory interface: (4) FOUP
KAWASAKI High speeds IR / CR handler
2014 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3200濕站是DNS開發的一種高度先進的濕處理設備,提供更高的精密處理性能。是用於蝕刻、清潔、塗層、幹燥等各種濕加工作業的濕站。DNS SU-3200具有廣泛的高度先進的濕處理模塊,可提供高級處理功能,包括半導體級蝕刻罐、雙室CPT塗層設備、先進的清潔和幹燥組件以及光刻膠顯影/帶狀系統。它符合國際電工委員會(IEC)的要求,在生產產出方面實現了更好的準確性和可重復性。DAINIPPON SU 3200是一個高度自動化的濕式站,可自動執行許多濕式處理條件,以確保質量一致。例如,蝕刻單元包括各種智能參數,允許根據每個項目的要求設置不同的蝕刻解決方案。此外,該設備還包含一臺刀具監視器,可連續監控和顯示線路/負載變化和濕度等數據。DNS SU 3200配備凈水再循環工具,可控制蝕刻溫度,確保無汙染溶液。它還具有安全互鎖和警報器的安全設計,提供防止化學孔隙和飛濺的保護。而且,它允許獨立的濕加工和幹燥條件,以便更有效的加工。SU 3200體積小巧,在安裝和操作方面具有靈活性,並具有易於操作的用戶界面,能夠無縫操作濕流程。其他功能包括可追蹤性資產、可定制的輸出數據格式和遠程診斷。SU-3200濕式站是半導體濕式處理應用的理想解決方案,其精度、準確性、安全性和可重復性是必不可少的。它提供了一系列全面的功能和高水平的自動化,使用戶能夠以高度可靠和可重復的結果快速高效地滿足其生產需求。
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