二手 DNS / DAINIPPON WS-820C #9152514 待售
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ID: 9152514
優質的: 1995
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CHCL Shower N2 blow
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Q Etch
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IPA Dryer
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1995 vintage.
DNS/DAINIPPON WS-820C濕式工作臺是完成高質量晶圓加工所必需的濕式工作臺設備。它是一種全自動、單站或雙站、精密控制的濕處理設備，其設計目的是實現最高效率、最小操作員互動和可重復、高度準確的結果。硬件配置包括一個合金步進器、雙面電動平臺、兩個歧管和濕工藝罐、一個背面去離子化（DI）沖洗罐和一個用於處理每個工藝周期多個晶片的集成輸送系統。該裝置的設計提供卓越的溫度和化學溶液的穩定性，以及出色的機器控制。它具有可編程晶片索引和嵌套晶片處理、同步低流量和高壓操作、晶片和載波處理定位器、噴墨晶片識別以及用於控制數據的全數字化工具,包括手動和自動模式、故障檢測和恢復能力。該雙面平臺采用集成輸送機，可處理多個晶片，與大型工藝和沖洗罐協同工作，提供線性移動能力，允許高精度運動和可重復性控制。此外，資產包括一個DI儲罐，利用晶圓的背面壓力防止晶圓粘附在儲罐表面，也允許人工操作。集成的車載計算機通過流程配方對模型進行全面控制,實現了對流程參數的全面可追蹤性和更好的控制,以及故障檢測、緊急停止、流量和壓力監測及恢復能力。錯誤事件預防和跟蹤系統還具有完全驗證功能。DNS WS-820C與世界上最受歡迎的軟件套件如STATS、CALC、MPS等完全兼容，為配方準備和實現提供了支持。手動和自動操作的完整配方庫提供了一次又一次可復制結果的機會。濕式工作站有三種不同型號的DAINIPPON WS820C、WS-820CR和WS-820W,它們還具有針對特定應用程序和需求量身定制的多種配置和訪問器。DNS/DAINIPPON WS820C模型是專門為晶片清洗而設計的,而RJSTX-200支架是晶片曝光過程的理想選擇。WS-820W包包括一個集成的晶圓夾緊設備、氣櫃、輔助控制器和各種氣動控制單元。
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