二手 DNS / DAINIPPON WS-820C #9364372 待售
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DNS/DAINIPPON WS-820C濕式站是一種先進的單罐濕式工藝設備，專門為高效、經濟高效地生產半導體集成電路而設計。該系統適用於各種濕工藝步驟，包括蝕刻、清潔、噴霧、沈積等。車站由一個主月臺、一個房間、一個主櫃子和一個控制臺組成。主平臺為主處理區域，可容納多種流程模塊，可根據不同流程需求定制。腔室外殼容納了化學過程，如蝕刻和沈積，這些過程通過用戶友好的觸摸屏控制控制臺進行監測和控制。主機櫃裝有主要的工作流組件，如軟件控制的化學流適配器、幹氣泵和化學加熱器。控制櫃配有先進的數字溫度和壓力監測單元，可以調節化學過程所需的參數。此外，還采用了電化學阻抗光譜（EIS）監測儀，以確保蝕刻過程的穩定性和準確性。控制櫃還采用了一系列泵將化學品快速輸送到加熱器，以進行精確的溫度控制和反應物補充。該工具還包括高級圖像分析軟件,可用於檢查正在處理的部件。DNS WS-820C濕化站能夠處理各種類型的濕化化學品，包括氫氧化銨、氫氧化鈉、鹽酸、鉻酸、硫酸、硝酸等酸性溶液。該站的部件具有耐腐蝕性能,設計為以最佳性能運行多年。該站維護成本低，效率高，是預算和工藝要求有限的工作場所的理想選擇。
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