二手 DNS / DAINIPPON WS-820L #9391878 待售

DNS/DAINIPPON WS-820L濕站是用於高精度光刻和處理先進半導體技術的最先進的半導體設備設備。該系統由半導體加工系統制造商DNS和半導體材料制造商DAINIPPON聯合開發，提供質量最高的晶圓曝光結果。DNS WS820L利用先進的高分辨率光刻技術,如電子束和偶極子照明,以及電子束掃描和圖樣繪制,從而顯著改善了特征定義,並且覆蓋相對較大。它有一個6軸混合電子束單元，在非常大的曝光區域提供了很好的過程均勻性。混合機還允許對劑量滑塊等參數進行出色的即時管理，從而提高了工藝精度和重復性。該工具的增強功能還可以縮短曝光時間並提高生產率。該資產進一步提供了高等級的自動化capabilite，使得它適用於大小規模的晶圓曝光操作。它具有電動XY級驅動器、防光安全門、可編程自動級驅動器和自動WaferMover模型或手動XY級運動,以及手動晶圓處理選項。此外，它還配備了自動濕法加工站和處理單元，高分辨率邊緣視覺設備，以及精確晶圓成像的高精度視覺系統。DAINIPPON WS 820L還提供了一個獨特的晶片ID感測單元，它可以準確地讀取和識別晶片，以防止交叉汙染和多處理下傾斜操作。此外,該機還集成了一個用於精確基板處理的基於激光的觸摸位置傳感器、一個用於精確溫度控制的溫度控制器以及一個用於精確工藝參數和控制的定制控制器。而且，它與一系列濕化學物質兼容，包括KSC-77種光致抗蝕劑，並支持從2英寸到12英寸的各種晶圓尺寸。總體而言，濕式WS-820L是一種先進且用途廣泛的半導體加工工具，可提供最高質量的晶圓曝光結果。它配備了一系列自動化功能，並與自動濕工藝和處理系統集成在一起，提供大小型晶圓曝光操作。此外，它還配備了晶圓ID傳感資產和一系列其他高精度的過程控制組件，讓用戶實現精確和可重復的結果。