二手 DNS / DAINIPPON WS-820L #9401439 待售

DNS/DAINIPPON WS-820L濕站是半導體工業中各種濕工藝的高效、準確的解決方案。該設備設計用於晶圓清洗、化學機械平面化（CMP）、晶圓表面研磨和其他濕工藝。該系統一次最多可處理8個晶片，並具有獨特的三重噴嘴清洗站，提供一致和高精度的清洗結果。這使操作員無需任何人工幹預即可輕松地在流程之間進行切換,從而顯著提高吞吐量。該裝置采用真空輔助洗滌作用，可提高清洗溶液的體積和均勻性。這有助於確保清除材料殘留物，包括灰塵和顆粒，而不會損壞晶片表面或其下面的電子設備或材料。DNS WS820L還具有機械和化學機械拋光（CMP）功能,可用於平面化和晶圓表面研磨。機械拋光用於厚層的平面化，而CMP提供更均勻的表面光潔度和更高的吞吐量。機器還配備了溫度和振動監測工具，有助於維護正確的處理環境。這有助於確保過程結果一致,並防止晶片表面受到任何損壞。該資產還設計為易於使用和維護,因為它具有簡單的用戶界面,幾乎不需要維護。此外,DAINIPPON WS 820L還提供全面的參數設置和報告功能,使用戶能夠監控其流程並防止潛在的問題。總體而言，DAINIPPON WS-820L濕站是半導體工業中各種濕工藝的高效、準確的解決方案。其三重噴嘴具有站臺、機械和CMP拋光能力、溫度和振動監測模型以及全面的參數設置和報告功能，非常適合廣泛的應用。