二手 DNS / DAINIPPON WS-W625 #9115315 待售

DNS/DAINIPPON WS-W625 Wet Station是一個高性能的濕加工站,旨在以環保的方式提供精確、清潔和一致的基板處理。它具有先進的光學設計和專有的基板處理功能,能夠通過減少晶圓廢料和提高晶圓通量來實現有效的晶圓幹燥。它配備了多個流程階段，能夠快速、可重復、可靠的運行。濕蝕刻過程由一個攜帶晶片的機器人組成，它將基板從一個階段傳輸到下一個階段。DNS WS-W625基板處理程序具有快速的加載和卸載周期,每小時可處理多達500個晶圓。它利用先進和高度可靠的三區控制流動系統在晶圓的整個高度上提供精確的均勻性。這個認真設計的系統使用沿噴嘴板z軸移動的噴嘴，以精確控制液體在非湍流中的色散。濕蝕過程分浸漬和處理兩個階段進行。在浸漬階段，晶片同時浸入混合蝕刻液體中，而處理階段涉及將表面處理沈積到晶片上。這兩個過程均由DAINIPPON WS-W625的板載控制器和軟件套件管理,可幫助配置流程參數並自動執行整個操作,以確保每個步驟僅以最高精度執行。WS-W625還包括一個集成的、高交貨、無沖洗的清洗站，以提供受控和一致的晶圓清洗。它采用節能設計,可降低運營成本。此外，其濕式自旋幹燥模塊還配備了定制的電機驅動腔室，可確保最高水平的自旋效率。濕蝕工藝可以通過深入編程和工藝優化包進行定制。這個用途廣泛的濕加工站可以與其他設備和系統集成，形成完整的工作流程。總體而言,DNS/DAINIPPON WS-W625 Wet Station具有出色的功能集,可實現一致和準確的濕蝕加工。由於其先進的光學設計和專有的基板處理技術，這種濕式工作站適合可靠的操作，從而節省了成本，提高了晶圓的吞吐量。它是精密晶圓幹燥和清潔應用在各種半導體制造過程中的理想選擇。