二手 ENTEGRIS Box cleaner #293667203 待售

ENTEGRIS Box cleaner
ID: 293667203
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
12" 2003 vintage.
ENTEGRIS Box清潔器,又稱濕式站,是一種用於半導體和光伏制造的自動化設備,用於執行一系列清潔操作。它能夠提供一致的工藝結果,且清潔性能變化最小。盒式清潔器的主要目的是清潔半導體加工盒的內表面。ENTEGRIS盒式清潔劑由工作室、輸送機和噴霧器組件組成。噴霧器組件與一個循環系統集成在一起,該系統由泵、一組循環管道和過濾器組件組成。噴霧器組件用於將清潔溶液噴灑到工藝箱內部的目標區域,輸送機用於將工藝箱通過濕式站移動。當加工箱進入工作室時,將其放置在輸送機上,使其處於正確的位置,以便進行Box清潔器操作。然後輸送機將箱子搬過工作室。在此過程中,噴嘴將清潔溶液噴灑在盒子的目標表面上,再循環裝置可確保溶液被重復使用並保持恒定溫度。清潔過程完成後,升降機平臺將箱子從輸送機上移到幹燥站上。盒子用壓縮空氣通過噴嘴幹燥,這有助於去除盒子裏的水分。使用ENTEGRIS Box清潔器,為存儲在其中的零件和組件提供一致的清潔表面,有助於提高加工盒的清潔度和可靠性。再循環機還有助於減少清潔過程產生的廢物,最終節省金錢和資源。這種自動化工具是一種高效的解決方案,用於清潔半導體加工箱的內表面。
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