二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Aries #9384182 待售

FSI （TEL） FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ARIES是半導體工業中使用的一種濕式站。它是一種高效的工具，用於在制造過程中清洗、沖洗和蝕刻晶片。采用內置模塊設計，這個濕式站最多可處理五個200 mm或四個300 mm晶圓，效率最高。FSI白羊座站主要由四個部分組成：加熱淋浴單元、中央觸摸控制器、清潔單元和蝕刻單元。加熱淋浴單元由操作員觸發的一系列氣體射流組成。這些噴射器釋放預先確定的清潔介質如去離子水、去離子醇或蝕刻劑的高壓噴射器，以徹底清潔晶片表面。中央觸摸控制器是一種平板顯示器，允許操作員輕松、精確地控制加熱淋浴單元、清潔單元和蝕刻單元。清洗裝置是一個可擴展的容器，有一個旋轉主軸，可容納五個（200毫米）或四個（300毫米）晶圓，具體取決於型號。旋轉速度、壓力和pH水平可調，以適應工藝需要，清潔介質可以是蝕刻劑或去離子水。清潔單元中的晶片暴露在清洗介質的高壓射流中，由外部容器安全收集。蝕刻單元是一種高壓淋浴系統，用於蝕刻已經徹底清洗過的晶片。它的主要部件是一個發射蝕刻高壓射流的淋浴頭，一個將蝕刻劑吸入單元的文丘裏系統，以及一個調節蝕刻時間的氣流控制。蝕刻裝置設計既方便用戶又高效，使操作員能夠有效、準確地蝕刻晶片。總之，TEL白羊座是一個用於清潔、沖洗和蝕刻晶片的濕式站。它由四個主要部件組成，共同努力以最大限度地提高效率和安全性，並且設計為易於使用和操作。這一濕站是半導體行業的重要工具，有助於使制造工藝更快、更準確。