二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Magellan #9400272 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan是一個濕式加工站，旨在滿足半導體工業的要求。設計用於介電自旋、升空、蝕刻和沈積等應用。FSI麥哲倫能夠加工大型基材，尺寸可達400 x 500 mm。TEL Magellan能夠執行各種先進的光刻工藝，如高長寬比間隙填充、升空和粘貼控制。它具有精密的雙軸光級，最大平移速度為0.5 μ m/sec，定位精度為1.5 nm。舞臺可以支撐1英寸至8英寸的晶片，操控力高達1.5 N. Magellan配備了屢獲殊榮的電子光束光刻設備，用於精確的定時控制。集成系統與多種可編程電源電極兼容，實現了精確的電壓和電流組合。該單元能夠提供最高分辨率高達5.5 μ m的高分辨率圖像。TOKYO ELECTRON Magellan兼容多種不同的單晶片工藝化學物質，如水、有機、有毒。該站還配備了洗滌、蝕刻、沈積等各種自動濕化學工藝。集成自動化機器能夠在精確控制的情況下運行高容量的過程。此外，該站還配備了綜合安全環保設備。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan為最大的生產力而設計，並以快速周轉方便無誤處理。該站用戶友好,安裝方便快捷。該站還提供直觀操作，具有配方管理和流程監控等多種特點。FSI Magellan受FSI 'Easy-to-Use'軟件支持，該軟件使用戶能夠開發自己的工藝配方和存儲數據。TEL麥哲倫是一個多功能濕式站，能夠提供從簡單蝕刻到高度復雜的光刻的全方位工藝。它旨在支持高容量和高精度的應用,並可促進快速的生產周轉。麥哲倫還提供用戶友好的界面以及全面的安全和環境保護措施。