二手 GTX Wet bench #9384190 待售
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GTX濕式工作臺是為半導體晶圓加工而設計的濕式工作臺。它是半導體制造業的核心部件之一,允許化學試劑的密封和安全輸送。GTX濕式工作臺的設計目的是盡量減少汙染,促進不同類型電子材料的加工,以精確的方式進行必要的操作。GTX濕式工作臺由幾個關鍵部件組成。它通常分為三個獨立的部分,分別有處理室:預處理室、處理室和後處理室。每個會議廳都設計用於執行特定操作。所有艙室都被密封和疏散,以減少濕站每段之間的環境汙染。在預處理室內,任何需要預處理的晶片都會進行處理。這一過程涉及用清潔物質如氫氧化銨溶液處理晶片,以消除表面的有機和無機汙染物。經過處理的晶片隨後被移入工藝室。在工藝室中,可以根據手頭任務的具體要求進行一系列的工藝。這包括分散過程、氧化過程、沈積過程或化學氣相沈積。最後,在後處理室內,晶片經歷了幾次疏散和幹燥步驟。這包括在清潔室內安全的環境中冷卻和除濕室內。此過程完成後,晶圓準備好進入制造過程的下一步。濕式工作臺設計具有較高的安全性和可靠性。所有加工室都有足夠尺寸的安全門和不銹鋼材料,以保證嚴格控制灰塵和異物顆粒。車門配有安全控制系統,自動控制盤櫃內的循環時間和壓力。還建立了一個中央監測系統,以確保操作員不會在指定的參數之上操作。綜上所述,GTX濕式工作臺是為提供不同類型電子材料的必要加工而設計的濕式工作臺。它具有最前沿的安全性和可靠性,具有用於預處理、處理和後處理的獨立腔室。有了正確的知識和維護,Wet bench可以提供一種高效、精確的晶片和其他電子材料處理手段。
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