二手 LAM RESEARCH DV-38DS #9095949 待售

LAM RESEARCH DV-38DS是一個通用的濕加工模塊，專門設計用於半導體器件制造的蝕刻、清潔和塗層操作。這座可通過數字設備接口（DSI）進行控制的多合一濕站提供了對各種工藝參數的精確控制，如溫度、壓力、流量和化學品。其內置功能還減少了由於監控不足而產生錯誤的可能性。LAM RESEARCH濕式站裝有超銳利的2D掃描儀，可以檢查工件的整個表面，並對加工質量提供準確的反饋。該站還配有噴射系統，可用於精確定位噴嘴以執行高分辨率圖樣。還提供了先進的冷卻裝置，以確保在蝕刻過程中均勻冷卻。這種冷卻機可以高度精確，允許用數字精度進行溫度調整。LAM RESEARCH濕式站還配有一個設計獨特的再循環工具，確保過程液體在整個站內高效循環。此流通資產有助於確保整個工作面的處理一致性,消除手動處理中常見的熱點和其他不一致之處。再循環過程還減少了水和化學物質的使用，節省了時間和金錢。此外，LAM RESEARCH濕站采用先進的化學輸送模式，設計用於在蝕刻過程中精確混合化學物質，確保均勻性和完全一致性。最後，該站還配有一個集成的清潔設備，在蝕刻過程開始前自動擦洗掉工件表面的任何汙染物。總體而言，DV-38DS濕站是半導體器件制造中用於蝕刻、清潔和塗層操作的可靠、高效的通用處理模塊。由於其精確的監控能力，其先進的功能提供了增強的過程控制和提高的安全性。再者，其節省成本的內置特性，如再循環系統、化學輸送單元、集成清潔機，使其成為半導體加工的絕佳選擇。